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Vol.25, No.3, August 2022

Effect of Polyethylene Glycol on Cu Electrodeposition구리전해도금에서 폴리에틸렌글리콜(polyethylene glycol)의 영향 연구
JKES Vol.25, No.3, pp.113-118, August 2022
DOI : 10.5229/JKES.2022.25.3.113
Eui Gyeong An1†, Sun Gi Choi1†, Jaewon Lee1,2, and Sung Ki Cho1,2*안의경1†·최선기1†·이재원1,2·조성기1,2*
1Department of Chemical Engineering, Kumoh National Institute of Technology, 61 Daehak-ro, Gumi-si, Gyeongsangbuk-do 39177, Republic of Korea 2Department of Energy Engineering Convergence, Kumoh National Institute of Technology, 61 Daehak-ro, Gumi-si, Gyeongsangbuk-do 39177, Republic of Korea1금오공과대학교 화학소재공학부 화학공학전공 2금오공과대학교 에너지공학융합전공
C. A. E-mail : chosk@kumoh.ac.kr

†The author contributed equally to this paper.

 

본 연구에서는 polyethylene glycol (PEG)이 구리전해도금에 미치는 영향을 cyclic voltammetry를 이용해 분석해보았다. PEG의 흡착은 함께 존재하는 음이온의 특이흡착에 따라 변화되었다. 가장 일반적인 도금액 성분인 sulfate 이온(SO42-)이 존재하는 경우, PEG의 흡착이 억제되었으며 그로인해 미약한 억제 효과가 관찰되었다. 실제로 도금액이 SO42- 없이 특이흡착하지 않는perchlorate 이온(ClO4-)으로만 이뤄진 경우, PEG는 도금 반응을 강하게 억제하였으며 억제 효과는 PEG의 분자량에 비례하여 나타났다. 반면, 염소 이온(Cl-)의 특이흡착이 존재하는 경우 오히려 PEG의 억제 효과는 강화되었다. RDE 분석을 통해 강한 억제 효과는 PEG와 Cl-간의 흡착구조체 형성에 의한 것임을 확인하였으며, 이러한 흡착 구조체 형성은 용액 조성에 따라 달라지는 특성을 나타내었다. 특히, 소수성 특성이 증가된 PEG 유도체의 경우 억제 효과가 더욱 강화되는 것으로 미루어, PEG와 Cl-간의 흡착 구조체 형성에 PEG의 소수성 특성이 중요함을 확인하였다.

 

Keyword : Cu Electrodeposition, Additive, Polyethylene Glycol, Suppressor

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